高純水處理系統是將一般的市政用水處理成對不同離子的含量和顆粒度都有很高要求的超純水。

超純水處理設備施工分為三部分:超純水制造區

1. 超純水拋光循環區超純水輸送管網預處理
2. 沙濾，活性炭塔(有的在沙濾前還增設反應槽、氣浮池)一次純水部分
3. 陰陽離子交換塔，脫氣塔，保安過濾器，紫外線殺菌器及多級反滲透

一、超純水

脫氣膜組，TOC-UV殺菌器，混床及終端過淺器

由干考慮到在向工藝線設備輸送高純水討程中，輸水管道會對水質再次造成污染，因而在FAB內一般都設立拋光循環系統。拋光循環系統主要以混床為核心，再加上超濾設備，以除去向工

藝生產線輸送純水的過程中，管網溶入水中的雜質。

超純水系統中各階段常用管材:

1、一股在超純水制造區預處理階段多采用PVC管或SUS304管

2、對水泵等產生震動的動力設備周邊采用SUS304管

3、在一次純水階段主流程采用CPVC管或SUS304管

4、高壓泵與反滲透(RO)之間，由于壓力高所以必須采用SUS304管及耐壓2.0Mpa級的法蘭

5、由干RO對水溫有一定的要求，因而一般在RO之前有熱交換器，其周邊也應該采用SUS304管

6、在超純水制造階段,主流程一般應采用SUS316管和CPVC管

7、拋光循環區主流程一般采用SUS316管(焊接連接，并要求雙面成型)和PVDF管，超純水回收管道采用CPVC管

水外理各階段廢水排放管道均采用普通PVC管:在純水制造過程中酸堿等加藥管線，應采用耐沖擊PVC管:純水系統中使用的氨氣系統采用SUS304管，超純水拋光系統所用氨氣管道采用

SUS316管;壓縮空氣系統在純水系統中作為氣動閥開關動力，一般采用SUS304管。